具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件.pdf

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本公开描述了一种具有半导体芯片的图像形成元件，半导体芯片具有微机电系统(MEMS)装置(210)和电压生成器(220)，每个电压生成器被配置为：生成由MEMS装置中的一个或多个MEMS装置使用的电压。浮置接地可以用于向由电压生成器生成的电压添加电压。半导体芯片可以包括电连接(235)，其中每个电压生成器被配置为通过电连接来向一个或多个MEMS装置提供电压。MEMS装置可以在半导体芯片中限定边界，MEMS装置、电压生成器和电连接位于该边界内。每个MEMS装置可以生成静电场以操纵多束带电粒子显微镜的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113795459 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202080034482.6 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所