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本发明公开了一种沙克哈特曼波前传感器的未配准偏差补偿方法，通过理论建模，探明了这一未配准问题会引入误差至拓扑值探测中，并对该未配准偏差进行补偿，从而大幅提升拓扑值探测的精度，同时也证明了拓扑值探测方法的失效正是沙克哈特曼波前传感器中的未配准问题所导致的。此外，本发明提出相应的方法来补偿这一未配准偏差，实验结果表明，利用本发明补偿方法对沙克哈特曼波前传感器进行了补偿后，涡旋光束拓扑值探测的精度得到了显著的提升，从而验证了补偿沙克哈特曼波前传感器中未配准偏差的必要性以及本发明偏差补偿方法的有效性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113776679 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110986353.3 US 2012206719 A1,2012.08.16
(22)申请日
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