阵列基板及其制备方法、显示面板.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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阵列基板及其制备方法、显示面板.pdf

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本申请实施例公开了一种阵列基板及其制备方法、显示面板。所述阵列基板包括衬底、有源层、源极以及漏极；所述有源层设置在所述衬底上，所述有源层具有一沟道区；所述源极和所述漏极设置在所述有源层上，所述源极和所述漏极位于所述沟道区的相对两侧，所述源极和所述漏极均包括依次设置在所述有源层上的金属阻挡层和导电金属层；在所述源极和/或所述漏极远离所述沟道区的一端，所述金属阻挡层包括第一凸部，所述第一凸部自所述导电金属层的端部向远离所述沟道区的方向延伸。本申请减小了有源层相较于源极和/或漏极的外凸长度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113782548 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202111056960.6 H01L 21/77 (2017.01)