VCSEL及控制VCSEL发光方向的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本发明涉及一种VCSEL及控制VCSEL发光方向的方法,该VCSEL包括依次层叠的一次蚀刻台面、二次蚀刻台面和三次蚀刻台面,其中,所述一次蚀刻台面内设有氧化孔,在所述氧化孔的光窗平台上设有微透镜,当所述微透镜的焦点与所述光窗平台的中心轴之间的距离大于0,使出射光偏向所述微透镜的焦点相对于所述光窗平台的中心轴的一侧。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809639 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111123506.8 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人 深圳市德明利光电有限公司

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