一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置.pdf

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本申请涉及一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法，其中，该方法包括：通过刻写激光器，生成刻写激光；根据光学衍射器件和刻写激光，生成多路刻写光束；根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据；基于转镜并行刻写算法和多路刻写光束的光束数，将三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道；在位移台移动到目标位置时，利用波形发生器的不同输出通道的三维灰度刻写数据，控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制，完成对待刻写结构进行并行刻写。通过本申请，解决了相关技术中存在三维激光刻写时容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116382044 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310467150.2 (22)申请日 2023.04.25 (71)申请人之江实验室地址 311121