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具有多种在线原位监测功能的脉冲激光沉积装备.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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具有多种在线原位监测功能的脉冲激光沉积装备.pdf

    本申请公开了具有多种在线原位监测功能的脉冲激光沉积装备。该脉冲激光沉积装备包括PLD装置，以及装配在PLD装置上并对PLD装置所针对外延薄膜实施对应性能测试的光谱仪、X射线衍射仪、差分式反射式高能电子衍射仪、质谱仪和翘曲测量仪。脉冲激光沉积装备，将光谱仪、X射线衍射仪、差分式反射式高能电子衍射仪、质谱仪和翘曲测量仪等集成于PLD装置中，以达到在线/原位监测外延薄膜表面形貌、结构、温度、膜厚、应力、缺陷、翘曲等参数的目的，并建立数据库，使用人工智能方法对优化工艺参数、提高良率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116377569 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310249427.4 (22)申请日 2023.03.15 (71)申请人 武汉大学 地址 430072

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