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具有互连结构的键合结构.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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具有互连结构的键合结构.pdf

    公开了一种键合结构。键合结构可以包括互连结构。键合结构还可以包括直接键合到互连结构的第一管芯。键合结构还可以包括被安装到互连结构的第二管芯。第二管芯沿着互连结构的上表面与第一管芯横向地间隔开。第二管芯至少部分地通过互连结构与第一管芯电连接。键合结构还可以包括被设置在第一管芯与第二管芯之间的互连结构的上表面之上的介电层。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116391252 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202180074229.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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