用于堆叠纳米带2D晶体管的电荷转移间隔体.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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用于堆叠纳米带2D晶体管的电荷转移间隔体.pdf

实施例包括二维(2D)半导体片晶体管以及形成这种器件的方法。在实施例中,一种半导体器件包括2D半导体片的堆叠体,其中,所述2D半导体片中的个体2D半导体片具有第一端和与第一端相对的第二端。在实施例中,第一间隔体在所述2D半导体片的第一端之上,并且第二间隔体在所述2D半导体片的第二端之上。实施例还包括在第一间隔体与第二间隔体之间的栅电极、与所述2D半导体片的第一端相邻的源极接触部和与所述2D半导体片的第二端相邻的漏极接触部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809168 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202011522427.X H01L 21/34 (2006.01) (22)申请日 2

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