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本发明提供一种MEMS麦克风结构及其制备方法，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜、背极板、背板、背极及振膜引出电极，其中，基板中设有贯穿基板的空腔；振膜悬设于空腔上方，振膜中设有褶皱结构、泄气孔及振膜支架；多个包括第一声孔的背极板间隔悬设于振膜的上方；背板覆盖背极板的上表面，背板中设有第二声孔、背极引线孔、振膜引线孔及分隔层，第二声孔与第一声孔相互连通，背极引线孔的底面显露出背极板，振膜引线孔的底面显露出振膜；背极与背极板电连接，振膜引出电极与振膜电连接。本发明利用在背板中设置与振膜接触的分隔层
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116390002 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310337548.4
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 瑶芯微电子科技（上海）有限公司
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