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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明提供激光加工装置的检查方法，能够抑制因被加工物的偏差和由测量者引起的误差而产生的加工不良。激光加工装置的检查方法具有如下的步骤：聚光点定位步骤(201)，将由该激光束照射单元的聚光器会聚的激光束的聚光点定位在空气中；拍摄步骤(202)，在该聚光点定位步骤(201)之后，一边使激光束的输出变化，一边在各个输出中利用拍摄单元对产生在聚光点处的等离子进行拍摄；测量步骤(203)，根据通过拍摄步骤(202)而拍摄的图像，测量各个输出中的等离子强度；以及判定步骤(204)，根据通过测量步骤(203)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113798663 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110629794.8
(22)申请日 2021.06.07
(30)优先权数据
2020-1047
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