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本发明提供一种多层金属层蒸镀装置及蒸镀方法。多层金属层蒸镀装置包括：传输腔，传输腔内设置的机械臂包括：晶圆托盘、退火组件及固定组件，退火组件用于执行退火，固定组件用于将晶圆夹持固定于晶圆托盘表面；蒸镀腔，位于传输腔的一侧，用于对晶圆进行前段蒸镀以在晶圆的表面蒸镀形成第一金属层；退火组件用于对前段蒸镀后的晶圆进行退火以在第一金属层与晶圆之间形成金属硅化物层；蒸镀腔还用于对退火后的晶圆进行后段蒸镀以在第一金属层的表面蒸镀形成第二金属层。通过对装置的改进，在不增加工艺成本的前提下改善了蒸镀工艺的质量，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116377395 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310431954.7 C23C 14/06 (2006.01)
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