一种测试光刻胶树脂组分的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本申请提供了一种测试光刻胶树脂组分的方法,通过获得光刻胶树脂中保护基团R的结构及分子量,采用凝胶渗透色谱获得光刻胶树脂经衍生化处理前后的重均分子量,并经本申请的公式计算,获得光刻胶树脂中保护基团R的保护率,进而获得光刻胶树脂中各单体的组分;所述方法能够准确获得光刻胶树脂中各单体的组分,为确定光刻胶树脂的性能提供了理论依据,且所述方法具有简便、灵敏度高、分析速度快、准确率高、误差小等优势。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804867 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111138814.8 (51)Int.Cl.

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