一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器.pdf

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本发明涉及光学器件技术领域，提出一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器，包括反射型半导体光放大器和铌酸锂光子芯片，其中，铌酸锂光子芯片包括依次连接的模斑转换器、游标滤波器、布拉格反射光栅和输出波导；反射型半导体光放大器的输出端与模斑转换器的输入端的端面耦合；游标滤波器上覆盖设置有镍铬合金电极和金电极；通过对镍铬合金电极和金电极施加电压，对输出的激光波长进行调谐。本发明通过采用反射型半导体光放大器以端面耦合的方式与铌酸锂光子芯片即可构成混合集成外腔可调谐激光器，具有制作工艺简单的特点，且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809634 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111015275.9 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人中山