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耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法.pdf

    本发明涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种耐等离子体腐蚀零部件，零部件本体表面具有复合涂层，复合涂层包括磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层。本发明提供的零部件和反应装置，其表面具有磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层形成的复合涂层，通过磁性涂层的磁场作用改变等离子腔体内的电子、离子的运动方向，降低其对部件表面的法相轰击作用，避免耐等离子体腐蚀涂层产生微颗粒污染，并通过耐等离子体腐蚀涂层对部件进行防护，解决了目前涂层在先进制程中逐渐表现出失效的微颗粒污染问题。进一步地，还公开了一种制备具有该复合涂层的零部件的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808898 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202010548392.0 (22)申请日 2020.06.16 (71)申请人 中微半导体设备（上海）股份有限公

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