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一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备.pdf

    本发明涉及电子束加工技术领域，提供了一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备，至少包括：真空腔室，适于为通过的电子束提供真空环境；至少一个第一节流气阻，设置在真空腔室内且位于电子束的束腰位置，第一节流气阻具有沿电子束的照射方向设置的缩孔结构，适于供电子束通过的同时隔离真空，以使第一节流气阻上游的真空腔室与下游的真空腔室的真空度形成差异。本发明提供的具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备，在真空腔室内至少设置有一个第一节流气阻用于隔离真空，使第一节流气阻上游的真空腔室与下游的真空腔室的真空度

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116387124 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310318129.6 (22)申请日 2023.03.28 (71)申请人 中国科学院电工研究所 地址 10

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