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一种基于桥阻温度的扩散硅压力传感器压力补偿方法,通过给扩散硅压力传感器输入两种不同的恒流源激励,采集补偿温度范围内的扩散硅压力传感器的电阻桥毫伏值,即温度采样值和压力采样值的补偿数据,通过补偿数据对实测的压力采样值进行补偿;本发明不仅满足了对于高精度和宽温度补偿的要求,而且程序占用内存小、成本低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113790836 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111151707.9
(22)申请日 2021.09.29
(71)申请人 西安安森智能仪器股份有限公司
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