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发光二极管及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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发光二极管及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种发光二极管及其制作方法，其中制作方法包括步骤：一、提供一个LED晶圆，该LED晶圆包含基板及位于该基板上表面之上的发光外延叠层，该发光外延叠层自基板一侧起包含第一类型半导体层、有源层和第二类型半导体层；二、在所述LED晶圆的上表面定义切割道，该切割道包括相互垂直的第一切割方向和第二切割方向；三、提供激光光束聚焦于所述基板内部，沿第一方向在所述基板内部的同一截面上形成X条切割线，沿第二方向在所述基板内部的同一截面上形成Y条切割线，其中yx0，且y≥3；四、将该LED晶圆沿着所述

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113795931 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202180003024.0 (22)申请日 2021.06.02 (85)PCT国际申

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