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一种链式真空镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种链式真空镀膜设备.pdf

    本发明提供一种链式真空镀膜设备，其可以防止承载盘形变，同时很容易调整承载板、电极板之间距离，极大的降低了生产成本。其包括承载盘、滚轴、加热器；所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方向为所述承载盘的运动方向；所述加热器分别设置于相邻的两个所述滚轴之间的位置；所述加热器底端设置升降结构；两个所述滚轴之间的距离大于所述加热器的宽度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802105 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111041719.6 (22)申请日 2021.09.07 (71)申请人 无锡爱尔华光电科技有限公司

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