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本发明提供了一种氮化镓功率模块热阻测试的方法，该方法利用液冷板调节不同的温度来使模块达到不同的温度，获得各个温度点对应的模块导通电阻，之后借助双界面分离法测试得出模块的升温降温曲线，借助分析软件进行数学分析得到两条阻抗曲线，曲线分离点就是模块热阻值。本发明方法以器件的导通电阻作为表征模块结温的电学参数可以准确地表征模块内的最高温度，结合热阻测试系统，实现了对模块热阻的精准测量，整体流程简单清晰，易于实现。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116381339 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310163445.0
(22)申请日 2023.02.24
(71)申请人 南京银茂微电子制造有限公司
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