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晶片的生成方法和晶片生成装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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晶片的生成方法和晶片生成装置.pdf

    本发明提供晶片的生成方法和晶片生成装置，能够将在从锭剥离晶片时产生的剥离屑去除而减少加工不良。晶片的生成方法包含如下的工序：剥离层形成步骤，在将对于锭具有透过性的波长的激光束的聚光点定位于与要生成的晶片的厚度相当的深度的状态下，使锭和聚光点相对地移动，由此形成包含改质部和裂纹的剥离层；晶片生成步骤，以剥离层为起点而从锭剥离晶片；带粘贴步骤，将粘接带粘贴于晶片的剥离面和锭的剥离面中的至少任意一方；带剥离步骤，通过将粘接带剥离，将附着于剥离面的剥离屑从剥离面去除；以及磨削步骤，对去除了剥离屑的剥离面

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116387135 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202211534387.X H01L 21/683 (2006.01)

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