原创力文档- 28
- 0
- 约9.66千字
- 约 8页
- 2023-07-05 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种N型重掺杂薄层氮化镓材料的二次外延方法，包括步骤：(1)选取外延材料，置于MOCVD外延生长设备内的基座上；(2)设定反应室压力，在氨气气氛下将反应室升温至预设温度，然后持续通入铟源；(3)保持反应室压力、温度、铟源流量及氨气流量不变，通入镓源和硅烷；调整镓源和铟源流量，设定生长速率，开始二次外延N型重掺杂薄层GaN材料；(4)保持反应室压力、温度和氨气流量不变，关闭镓源和铟源，继续通入硅烷，并持续一段时间；(5)关闭硅烷，在氨气气氛保护下，降至室温，取出二次外延材料。本发明实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113808916 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110870145.7
(22)申请日 2021.07.30
(71)申请人 中国
您可能关注的文档
- 用于电连接器的连接器壳体和连接器组件.pdf
- 耳机本体、耳机及使用耳机本体调整声压级的方法.pdf
- 空气涡轮起动器的变速箱中的油寿命.pdf
- 引线框架.pdf
- 门的自动功能配置.pdf
- 电源系统.pdf
- 插入工具和方法.pdf
- 树脂组合物.pdf
- 轴流风扇.pdf
- 车辆诊断装置和车辆诊断系统.pdf
- 第一节 电阻和变阻器(讲义)物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 第3节 质量的测量 (讲义) 物理沪科版(五四学制)2024 八年级上册.docx
- 第14讲 圆周运动（复习讲义）高考物理一轮复习.docx
- 暑假预习专题15 指数函数（20题型）新高一数学讲义（沪教版2020）.docx
- 第二节 发电机是怎样工作的（讲义）物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 4.18 东晋南朝政治和江南地区开发 教学设计 部编版七年级上学期历史.docx
- 2.5实验：用单摆测量重力加速度（表格式教学设计）物理人教版2019选择性必修第一册.docx
- 第49讲 沉淀溶解平衡及图像分析（讲义）高考化学复习讲义（新教材新高考）.docx
- 旅游景区行业分析报告：内外兼修，多元创新.pdf
- Unit 1~2 单元语法知识点梳理 高二下学期期中考点（上教版2020选择性必修第二册）.pptx
文档评论（0）