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一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置.pdf

    本申请涉及一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置，包括固定架，所述固定架设有转角同轴光源、吸管和相机；其中吸管具有吸气道，吸气道的一端为吸气端，且吸气端设有吸嘴，吸气道的另一端设有透光密封件，吸气道的吸嘴用于对准蓝膜上的芯片，所述吸嘴的轴心的延长线经由转角同轴光源的反光面的反射线过所述相机的镜头。本申请具有提高分选准确度的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113798205 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111119672.0 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人 深圳

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