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一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管.pdf

    本发明提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，其中，过滤装置设置在排液管之间，所述过滤装置包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；所述过滤网放置在所述过滤容器内，所述液位感应器设置在所述过滤容器侧壁外侧，且位于所述过滤网与所述进液口之间。本发明提供的用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，能够避免污液中的固体碎屑在排液管中发生堆积堵塞，减少了设备发生宕机的风险。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113797623 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111153415.9 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 上海华力微电子有限公司

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