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一种系统,包括:第一腔室、第二腔室、紫外光源和微波源。所述第一腔室具有入口。所述第二腔室与所述第一腔室相邻,所述第二腔室具有出口和波导。所述紫外光源位于所述第二腔室的波导内。也描述了相关的装置、系统、技术和制品。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110536861 A
(43)申请公布日
2019.12.03
(21)申请号 20188
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