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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明提供一种电容器结构及其制备方法,采用本发明制备方法制备的电容器结构,其上电极与下电极具有较大的交叉面积,电容器结构的电容大大增加,且上电极及下电极的形状误差小,满足设计要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809233 A
(43)申请公布日
2021.12.17
(21)申请号 20201
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