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一种化学成份检测微纳光学传感器及其制作与检测方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种化学成份检测微纳光学传感器及其制作与检测方法.pdf

    提供一种化学成分检测微纳光学传感器及其制作与测量方法，包括硅基片，硅基片设置有光源、检测腔、光接收器，硅基片在光源与检测腔之间开设第一沟槽,在检测腔与光接收器之间开设第二沟槽,第一沟槽、第二沟槽内充满经液体灌注，固化后用作使光线定向传输的光波导材料，固化后的光波导材料在检测腔的两侧分别形成呈凸起圆弧形的聚光壁，从光源依次经第一沟槽内的光波导材料、检测腔、第二沟槽内的光波导材料至光接收器形成光通路；光源所发出光的波长正是只有所要检测的化学成分所能吸收的光的波长，光接收器是能接收的光并能转换成电参数

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804630 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202011414751.X (22)申请日 2020.12.07 (71)申请人 宁波大学 地址 31

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