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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明涉及一种基于图结构学习确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；根据图结构学习模型获取所述多个传感器对应的最终嵌入向量，所述最终嵌入向量用于表征所述多个传感器之间的关联关系；将所述时序数据中时间排序在前的目标子序列与所述最终嵌入向量结合，并输入到预测模型中，得到所述多个传感器对应的预测数据；根据所述预测数据与所述时序数据中接续所述目标子序列的实测数据，确定所述实测数据所对应的目标时间点是否出现异常。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116383745 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310321659.6
(22)申请日 2023.03.29
(71)申请人 深圳智现未来工业
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