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基板的夹持装置、成膜装置、基板载置装置及其方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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基板的夹持装置、成膜装置、基板载置装置及其方法.pdf

    提供一种基板的夹持装置、成膜装置、基板载置装置及其方法，不仅能够使基板和掩模良好地紧贴，而且能够使基板稳定地移动，并且能够防止载置到掩模上时的基板的位置偏移。具有将基板(1)在用按压工具(8)推压到基板保持体(3)的状态下载置到掩模(2)上的基板载置工序，关于该基板载置工序中的通过按压工具(8)将基板(1)推压到基板保持体(3)，至少在基板(1)和掩模(2)的接触开始时，以按压工具(8)抵接到基板(1)的按压力进行推压，在所述基板载置工序之后，通过按压工具(8)，以比所述接触开始时强的按压力将基

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802106 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111098152.6 C23C 14/04 (2006.01)

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