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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明的实施例提供一种能够更有效地将膜从晶圆剥离的分层模组以及以及包括其的气体辅助绑定设备。根据本发明的在气体辅助绑定设备中剥离附着于晶圆的膜的分层模包括：胶带供应部，供应用于剥离所述膜的胶带；膜剥离装置，使用所述胶带从所述晶圆剥离所述膜；以及胶带回收部，回收附着有所述膜的胶带组。所述膜剥离装置包括：卡盘，被安放上方附着有所述膜的所述晶圆，并构成为能够沿着水平方向移动；剥离辊，使得用于将所述膜从所述晶圆剥离的胶带接触于所述膜，并构成为能够以与所述卡盘的移动速度对应的速度旋转；以及剥离杆(Bar)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116387181 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202211542419.0
(22)申请日 2022.12.02
(30)优先权数据
10-2021-0192614
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