活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车.pdf

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本发明涉及一种活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车，活动式存储装置包括：斜置轨道，包括相对的第一端及第二端，斜置轨道的第二端高于斜置轨道的第一端；存储托盘，与斜置轨道连接，存储托盘具有容纳晶圆传送盒的空间，且存储托盘至少具有一开口，以送入或移出所述晶圆传送盒；传动机构，上表面与架空存储装置下表面连接，传动机构的下表面与斜置轨道连接，传动机构用于在外力作用下驱动存储托盘自斜置轨道的第一端向斜置轨道的第二端滑动，以使得存储托盘相对于架空存储装置移出。其优点是：使得现有传统的单层式存储位变身双层式

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113830469 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202010584368.2 (56)对比文件