原创力文档- 1、本文档共16页，其中可免费阅读15页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种用于晶圆加工的新型抛光机，属于晶圆加工技术领域，它解决了现有抛光机抛光效率低等技术问题。本发明包括底座，底座上端设有安装平台，安装平台内部设有凸轮分割器，凸轮分割器的输出轴上固定有转动平台，安装平台上设有第一工位至第五工位，第一工位至第五工位与底座之间均设有抛光筒，抛光筒内部转动设有不同规格的抛光盘，第四工位的抛光盘上设有磨边机构，第一工位至第五工位上均设有滴液器，转动平台上端中部设有气泵，转动平台上端设有五个圆周均布的调节吸盘机构，安装平台上设有进料检测履带机构和出料检测履带机
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113814854 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202111142744.3 B24B 55/00 (2006.01)
您可能关注的文档
- 资源隔离方法、装置和终端设备.pdf
- 一种用于电能优化的智能节能电气柜.pdf
- 双层冷却管均衡强冷水冷炉口.pdf
- 车前草颗粒冲剂的生产方法.pdf
- 一种可变速限速器.pdf
- 一种节能电气自动化配电柜.pdf
- 基于半球线圈结构的无线电能传输频率分裂抑制方法.pdf
- 一种免镀电极的铁电材料任意两点间电滞回线的测量方法.pdf
- 一种原料收集装置.pdf
- 区块链车体状态监控系统.pdf
- 2023年江苏省镇江市润州区中考生物二模试卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省徐州市邳州市运河中学中考生物二模试卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省苏州市吴中区中考冲刺数学模拟预测卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省南通市崇川区田家炳中学中考数学四模试卷+答案解析.pdf
- 2023年江西省吉安市中考物理模拟试卷（一）+答案解析.pdf
- 2023年江苏省泰州市海陵区九年级（下）中考三模数学试卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省苏州市高新二中中考数学二模试卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省南通市九年级数学中考复习模拟卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省南通市海安市九年级数学模拟卷+答案解析.pdf
- 2023年江苏省泰州市靖江外国语学校中考数学一调试卷+答案解析.pdf
文档评论（0）