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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明提供了一种晶圆分区加热装置及其控制方法，所述装置包括第一盘体、设置于第一盘体的第二盘体、N个加热器、M个温度检测器和控制器。其中，至少一个凹槽设置于第一盘体和第二盘体相临的侧面，当第一盘体和第二盘体相互贴合时，凹槽形成密闭区域用于放置晶圆。第一盘体划分为K个子区域，并设置分别与K个子区域相对应的N个加热器和M个温度检测器，加热器用于加热对应的子区域，温度检测器用于采集对应的子区域的温度采样值。控制器分别与N个加热器以及M个温度检测器电连接，控制器用于从温度检测器获取温度采样值，以及根据各个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113838780 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111104954.3
(22)申请日 2021.09.18
(71)申请人 上海芯源微企业发展有限公司
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