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具有防护柱的半导体存储装置及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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具有防护柱的半导体存储装置及其制造方法.pdf

    本发明提供一种具有防护柱的半导体存储装置及其制造方法。半导体存储装置包括衬底、多个位线结构、多个触点、多个防护柱以及多个电容器。所述衬底具有存储区以及围绕所述存储区的周边区。所述多个位线结构彼此平行地设置于所述存储区中的所述衬底上。所述多个触点设置于相邻的所述位线结构之间，且与所述衬底电连接。所述多个防护柱设置于所述衬底上且位于所述存储区与所述周边区的交界处的相邻的所述位线结构之间。所述多个电容器设置于所述多个触点上而与所述多个触点电连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823629 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 20201

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