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基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法及系统.pdf

    公开了基于虚拟干涉仪法的瑞奇‑康芒检测方法及系统，能够方便快捷地实现高精度待测面形解算，降低了对测试场地面积的要求，有效抑制坐标转换法中的插值误差。方法包括：测量瑞奇‑康芒检测光路中的各项参数，在光学设计软件中构建虚拟干涉仪；对实际测量获取的平面镜引入的系统波像差进行Zernike拟合，获取系统波像差的各项Zernike系数；将系统波像差的各项Zernike系数作为系统的优化目标，将待测平面镜面形的Zernike系数作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至虚拟干涉仪获取的与实际测量

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113834443 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202111118190.3 (56)对比文件

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