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一种测量薄膜厚度和折射率的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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一种测量薄膜厚度和折射率的方法.pdf

    本发明属于光学精密测量领域，涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法，通过白光光谱相移测量，获得仅与薄膜自身相关的测量非线性相位，通过对薄膜进行垂直扫描，将所记录的白光光谱信号对波长积分，重建出白光垂直扫描数据，获得非线性拟合的约束条件，对根据反射系数的理论模型得到的理论非线性相位和测量非线性相位进行带有约束条件的非线性拟合，得到薄膜的厚度和折射率。本发明无需已知薄膜材料的色散模型、薄膜厚度和折射率的初值，可在同一系统中实现薄膜样品三维表面形貌的测量和薄膜厚度、折射率的测量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113834430 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111120067.5 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人 天津大学 地址 30

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