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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明涉及光电子器件技术领域，且公开了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括防护箱，所述防护箱内部固定连接有挡板，所述挡板顶部固定连接有回收盒，所述回收盒内底壁固定连接有卡槽，所述回收盒内部活动连接有存放盒，所述存放盒底部固定连接有嵌板，所述回收盒顶部活动连接有夹板，所述夹板内部活动了连接有伸缩气缸板。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，在回收盒的内部设置了存放盒，在存放盒的底部设置了嵌板，在回收盒的内底壁设置了卡槽，在回收盒的顶部设置了通孔，在回收盒的顶部设置了夹板和伸缩气缸板，在工作过程中产生的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113814251 A
(43)申请公布日
2021.12.21
(21)申请号 20201
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