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硫化检测传感器的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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硫化检测传感器的制造方法.pdf

    本发明提供一种可以高感度的检测，并且防止外部电极的剥离的硫化检测传感器。根据本发明，在大型衬底(10A)的主面形成硫化检测导体(2)后，在前述硫化检测导体(2)上形成包含不可溶性材料的一对第1保护膜(3)，且形成包含可溶性材料的第2保护膜(7)覆盖位在一对第1保护膜(3)间的硫化检测导体(2)，对大型衬底(10A)进行第1次分割为长条状衬底(10B)，在长条状衬底(10B)的二分割面形成端面电极(5)。对长条状衬底(10B)进行第2次分割为多个芯片衬底(10C)，对芯片衬底(10C)进行电镀形成

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113825998 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080015223.9 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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