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本发明属于真空电阻炉领域,具体地说是一种高温真空电阻炉用加热器,包括若干组配合设置的水冷铜电极、钽管及加热元件,加热元件采用冲压成波浪形的钽片,还包括固定及加固加热元件用的固定陶瓷片及绑定用钽丝。本发明通过钽管将水冷铜电极的电流导入到加热元件上,可减少加热元件与水冷铜电极的接触面积,进而减少热量损耗;通过固定陶瓷片及绑定用钽丝将加热元件固定于热屏蔽层上,并利用波浪形状钽片自身的高强度,使得加热元件热变形量小,减少了因加热元件变形导致短路的风险,同时可避免传统的螺栓螺母连接件对腔体的二次污染。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113819755 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202111186152.1
(22)申请日 2021.10.12
(71)申请人 中国
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