晶片取片、圆心定位装置、方法、系统及可读存储介质.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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晶片取片、圆心定位装置、方法、系统及可读存储介质.pdf

本发明涉及半导体设备制造技术领域，本发明公开一种晶片取片装置，其中，晶片取片装置包括：固定底座、承载圆盘、至少三个驱动组件、至少三个定位爪以及至少三个传感器；固定底座连接与机械传动臂；承载圆盘固定连接与所述固定底座；驱动组件设置于承载圆盘；一个定位爪与一个驱动组件对应且连接；所述传感器与所述定位爪一一对应。本发明还公开了一种晶片圆心定位装置、一种晶片圆心定位方法、一种晶片圆心定位系统和一种计算机可读存储介质。本发明技术方案实现准确定位晶片的圆心，提高晶片加工的效率，实现晶片圆心定位和取片一次完成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113838791 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111005839.0 (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人威科赛乐微电子股份有限公司

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