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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明属于硅棒制备领域，具体的说是一种晶棒提拉防脱落抱夹装置，包括主室和副室,所述主室的内部安装有坩埚，坩埚的内部放置有熔液，副室的内部活动安装有提拉头，提拉头的底端安装有子晶，子晶和熔液之间形成晶棒主体，晶棒主体包括抱夹头，副室的内部活动安装有与抱夹头对应的保护爪，工作时，在提拉晶棒主体上至保护爪的位置时，启动保护爪卡在抱夹头的外侧，然后保护爪和晶棒主体同步上升，直到晶棒主体生产完成，在这个过程中，如果一旦子晶发生断裂，则下方的保护爪会直接接住晶棒主体，避免了晶棒主体跌落后带来的各种危险，且保
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113832538 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202111105794.4
(22)申请日 2021.09.22
(65)同一申请的已公布的文献号
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