原创力文档- 1、本文档共5页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种ALD源钢瓶的清洗方法，包括以下步骤：(1)在无水无氧的手套箱中，向ALD前驱体源的钢瓶中加入无水烷烃进行清洗；(2)将步骤(1)清洗后的钢瓶灌满无水烷烃，进行超声清洗；(3)将钢瓶移出手套箱，依次用有机溶剂‑碱体系、酸溶液体系以及超纯水体系进行清洗；(4)将清洗后的钢瓶灌满超纯水静置，做ICP‑OES检测，检测合格后，烘干备用。通过上述清洗方法可将ALD前驱体源钢瓶中的前驱体、油类物质、氧化物杂质以及金属杂质粒子清洗干净，符合ALD源灌装的要求，该方法操作简单，清洗过程安全易操
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113818026 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202111080890.8 B08B 3/12 (2006.01)
(22)申请日 20
文档评论（0）