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收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法.pdf

    本发明提供能够减少所占空间的收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法。收纳装置包括载置台、传感器、旋转部、收纳部和升降部。载置台载置消耗部件。传感器检测消耗部件的方向。旋转部基于由传感器检测出的消耗部件的方向，使消耗部件向规定的方向旋转。收纳部位于载置台的下部，收纳消耗部件。升降部使收纳部升降。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823547 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110643230.X (22)申请日 2021.06.09 (30)优先权数据 2020-1065

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