电极设有双环形与桥型结构的薄膜体声波谐振器制备方法.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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电极设有双环形与桥型结构的薄膜体声波谐振器制备方法.pdf

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本发明公开了电极设有双环形与桥型结构的薄膜体声波谐振器制备方法，具体如下：在衬底上依次沉积剥离层、压电层、下电极，下电极上沉积内、外环形凸起以及包裹两凸起的下牺牲层，压电层上沉积包裹下牺牲层的下保护层以及包裹下保护层的待键合层二；基底上的待键合层一与待键合层二键合，去除剥离层和衬底；压电层上沉积两长条状上牺牲层，两长条状上牺牲层上沉积两桥型结构，再压电层表面沉积两侧与两个桥型结构分别相连的上电极，上电极和两桥型结构上沉积上保护层；压电层形成通孔，去除两长条状上牺牲层和下牺牲层。本发明在谐振器的下

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113839638 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111003527.6 (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人杭州电子科技大学地址

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