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本文公开了一种对组合物进行退火以制备用于传感器的膜的方法，所述组合物包含至少一种金属氧化物材料，所述方法包括：将组合物沉积在基板的一侧；在组合物附近提供电磁辐射源；将组合物的表面暴露于第一剂量的电磁辐射中，其中第一剂量包括诱导组合物退火的第一特性；将组合物的表面暴露于第二剂量的电磁辐射中，其中第二剂量包括诱导组合物退火的第二特性，其中第一特性与第二特性基本上相同或不同。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113840805 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202080036148.4 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
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