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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明提供了一种激光解键合的检测控制系统，该检测控制系统通过在激光解键合过程中，使吸盘吸附在衬底表面，激光束依次透过吸盘及衬底后聚焦在键合层，并控制激光束的焦点在键合层扫描部分的单元区域之后，通过抬升组件向上拉吸盘，使衬底和晶圆在该单元区域的位置处分离，以采用边激光解键合，边拉吸盘进行分离的剥离方式，防止衬底与晶圆之间由于熔融状态的键合材料再次冷却凝固而再次粘连，从而降低剥离难度。且还通过设置半反半透镜、检测光源、分光棱镜、光斑检测组件和上位机，以便于实时观察激光光斑位置信息、局部区域的键合层被
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113838777 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111035717.6
(22)申请日 2021.09.03
(71)申请人 北京中科镭特电子有限公司
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