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一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置.pdf

    本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113833756 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202111110722.9 F16C 32/06 (2006.01) (22)申请日 2021.09

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