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用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法.pdf

    本申请涉及用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法。一种用于单个处理站阻抗调节的装置可包括：加热盘，其包括第一接地网和第二接地网，所述第一接地网和所述第二接地网覆盖所述加热盘的不同区域；第一调谐器，其连接到所述第一接地网，且包含第一可调电容和用以检测电流的第一传感器；以及第二调谐器，其连接到所述第二接地网，且包含第二可调电容和用以检测电流的第二传感器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823582 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202010570685.9 (22)申请日 2020.06.21 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司

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