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多工位点胶机及其点胶方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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多工位点胶机及其点胶方法.pdf

    本发明公开了一种多工位点胶机及其点胶方法，包括：上下料机构，内限定有活动空间，上下料机构的外围设有数个加工工位，上下料机构在活动空间与各个加工工位之间往复运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；晶圆扫码对位装置，位于定位工位，对上下料机构输送的晶圆进行扫码和对位；晶圆预热机构，位于预热工位，对上下料机构输送的晶圆进行预热；多个晶圆加热装置，分别设于对应的加工工位，晶圆加热装置对加工工位上的晶圆进行加热；多个点胶装置，分别设于对应的加工工位以对加热后的晶圆进行

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113814114 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202010694552.2 B05C 13/02 (2006.01)

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