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像素阵列基板和缺陷预防方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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像素阵列基板和缺陷预防方法.pdf

    提供了一种像素阵列基板、包括该像素阵列基板的图像传感器以及一种用于防止沉积在包括像素阵列的半导体基板上的薄膜中的缺陷的方法。像素阵列基板包括半导体基板和钝化层。所述半导体基板包括被外围区域包围的像素阵列。所述半导体基板的背表面在所述外围区域中形成延伸到所述半导体基板中的多个第一外围沟槽。所述钝化层在所述背表面上并且衬于所述多个第一外围沟槽中的每个第一外围沟槽。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113823648 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110659633.3 (22)申请日 2021.06.15 (30)优先权数据 16/905,67

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