原创力文档- 14
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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明公开了一种同轴度校准方法及装置，同轴度校准方法包括X轴方向的校准和Y轴方向的校准。本同轴度校准方法分别进行X轴方向的校准和Y轴方向的校准，X轴方向的校准过程中分别对沿着Y轴倾斜±α度的校准片进行测量，再通过两个测量值沿着X轴调整上测量头和下测量头的位置；Y轴方向的校准过程中分别对沿着X轴倾斜±β度的校准片进行测量，再通过两个测量值沿着Y轴调整上测量头和下测量头的位置，经过X轴方向和Y轴方向的校准后上下检测头将沿着Z轴对齐，实现同轴度的校准，本校准方法简单有效，能够高效准确的实现校准。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113834429 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202111104879.0 (56)对比文件
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